Ausstattung
- Weißlicht- und 3-Wellenlängeninterferometer zur Prüfung unstetiger Oberflächenprofile im Mikrobereich
- Fizeau-Interferometer für den Planflächen- und Sphärentest
- Twyman-Green-Interferometer für die Prüfung von Mikro- und Makrolinsen im reflektierten Licht (Sphärizität, Radius)
- Mach-Zehnder-Interferometer für die Prüfung von Mikrolinsen im Durchlicht (Wellenaberrationen, PSF, MTF, Brennweite, NA)
- Interferometer in streifender Inzidenz für die Prüfung von Azylinderlinsen zur Strahlformung von Halbleiterlaserbarren
- Shack-Hartmann-Sensor zur Wellenfrontprüfung
