[Translate to DE:] Visit of a ASML delegation at the institute* Photo: MPL

Wer diesen Text in digitaler Form liest, nutzt höchstwahrscheinlich Elektronik, bei deren Fertigung ASML eine Schlüsselrolle gespielt hat. Zu den Kunden des Weltmarkführers für Lithografie-Systeme aus dem niederländischen Veldhoven zählen so bekannte Marken wie Intel und Samsung. Seine Maschinen erlauben es, die winzigen Schaltkreise aus Halbleitern herzustellen, ohne die unsere moderne digitale Welt nicht funktionieren würde.

Da in der Chipfabrikation jeder Nanometer zählt, sind Lithografie-Anlagen mit zahlreichen Sensoren ausgerüstet, die mit Licht unterschiedlicher Wellenlängen arbeiten. Die Messfühler können so verschiedene Eigenschaften von Silizium-Wafern erfassen. In speziellen Glasfasern ist es wiederum möglich, Licht zu erzeugen und zu transportieren und dabei dessen Wellenlänge genau einzustellen. Das erlaubt, die Empfindlichkeit der Sensoren zu verbessern – und so wiederum die Ausbeute bei der Chipherstellung zu erhöhen. Diese besonderen Glasfasern sind als photonische Kristallfasern bekannt, die Philip Russell, einer der Gründungsdirektoren des MPL, vor dreißig Jahren zum ersten Mal theoretisch beschrieben hat. 

ASML und MPL verbünden sich jetzt in einer Forschungskooperation, um den bereits heute weltweit führenden Herstellungsprozess der Spezialfasern noch weiter zu verbessern und diese damit für die extremen Anforderungen der Halbleiterindustrie zu optimieren.

Die ersten Gespräche mit ASML hat Michael Frosz geführt, der die Technologieentwicklungs- und Servicegruppe Faserherstellung und Glasstudio am MPL leitet, nachdem das Unternehmen von den in Entwicklung befindlichen Herstellungs- und Messverfahren erfahren hatte. Im Laufe der Jahrzehnte hat sich die Leistung der Fasern deutlich erhöhen lassen, weil neue Strukturen und Fertigungsverfahren zum Einsatz kamen. Zum Beispiel haben die Forscher*innen des MPL eine Methode entwickelt, um zerstörungsfrei den mikroskopisch kleinen inneren Aufbau der Fasern zu vermessen, und haben Designs geschaffen, durch die sich die Qualität des übertragenen Lichtstrahls verbessert hat.

„Seit ihrer ersten praktischen Vorstellung 1996, konnten viele exotische optische Phänomene mithilfe der photonischen Kristallfasern untersucht werden, die oft in der aus Neugierde getriebenen Grundlagenforschung ihren Ausgang nahmen und dann zu hervorragenden kommerziellen Anwendungen führten“, erklärt Russell. Beide Partner sind überzeugt, dass sich durch die Kombination der Erfahrung von ASML im Bereich industrieller Prozesse mit der Expertise und dem Knowhow des MPL Fortschritte in der Glasfaser-Technologie erzielen lassen, die von großem Nutzen für die Halbleiterbranche sein werden.

^{*  Jeroen Bouwknegt, Michael Frosz, Toine de Kort, Jochen Guck, Kees Schep, Patrick Uebel, Coen van de Vin, Dorothe Burggraf (v.l.n.r.)}

Contact:

Michael Frosz

michael.frosz@mpl.mpg.de