Equipment

Die TDSU 1 betreibt und wartet mehrere Produktions,- und Analysaanlagen im Reinraum und auch außerhalb. Folgende Prozesse sind möglich: Lithography (Elektronenstrahllithographie und optische Lithographie), Trockenätzen (RIE, ICP-RIE, Cryo-RIE), Beschichtung (ALD, PECVD, thermischer,- und Elektronenstrahlverdampfer, Sputterbeschichtung), Analyse (FIB, REM und weiteres)

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Aktuelle Ausgabe: Newsletter No 13 - Oktober 2018

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