Reinraum

Ein Reinraum wird definiert als ein Raum mit einer limitierten Partikelmenge einer gegebenen Größe.

Um den Arbeitsbereich so sauber wie möglich zu halten, wird 24 Stunden ein spezielles Luftströmungssystem aufrechterhalten.

Geteilte Einrichtung der TDSU 1 und TDSU 3

Temperatur 21°C ±1K, Luftfeuchtigkeit 50% ±10%

ISO Klassen 5/6/7

 

Bereiche der Nanofabrikation:

    Lithographielabor

    Chemielabor der Photolithographie

    Abscheidungslabor

    Trockenätzlabor

    Chemielabor mit ausgewiesenem HF Arbeitsbereich

Die Lüftungsanlagen sind ein Kernelement des Reinraummanagements um einen Partikel-freien Arbeitsbereich zu ermöglichen. Frischluft wird von außen durch die Filter und die Entfeuchtungsanlage in den Reinraum gebracht, wo sie durch Feinfiltereinheiten (FFUs) in die Arbeitsbereiche (Weißraum) geleitet wird. Eventuell in der Luft enthaltene Partikel werden gefangen und durch einen von den FFUs erzeugten laminaren Luftstrom durch die gelöcherten Bodenplatten in den Zwischenboden gedrückt. Über den Grauraum wird die Luft wieder in die FFUs zurückgeführt und zirkuliert so dauerhaft im Reinraum während sie mit stetig mit einem geringen Frischluftanteil ergänzt wird.

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